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株式會社SATO佐藤真空
真空泵
目前,我們有一臺平面電視,包括食品產(chǎn)品的電子設(shè)備,如手機,醫(yī)療設(shè)備,如MRI,從真空干燥蔬菜,如即時食物,干凍,已經(jīng)使用真空生產(chǎn)的貨物我每天都用它。真空泵廣泛用于大學(xué),政府機構(gòu)和參與半導(dǎo)體產(chǎn)品,空間設(shè)備,藥品等開發(fā)的私營公司的實驗室的先進技術(shù)開發(fā)領(lǐng)域。株式會社SATO佐藤真空泵
什么是真空?
“在低于大氣壓的壓力下充滿稀釋氣體的空間狀態(tài)”。不用說,除了空間之外,它在地面上以某種方式強制排出密封的容器氣體以產(chǎn)生低于大氣壓的壓力狀態(tài)。使用真空泵作為其手段。
無論是高于還是低于大氣壓,氣體的狀態(tài)都由溫度和壓力表示。壓力單位的尺寸為[力/面積],在SI單位系統(tǒng)中[N / m 2 = Pa:Pascal] * 1為基礎(chǔ)。以往,作為表示真空的狀態(tài)的壓力單元[乇=毫米汞柱]被用作表示真空的,以便與該工程利用外層空間的程度的單元,具有與工程單元共性[ Pa:Pascal]開始被使用。以工程單位,但通常在大氣壓狀態(tài)參考[壓力=零]壓力顯示(表壓)※2,容易理解的在表1中的真空系統(tǒng)的優(yōu)良壓力顯示。因為封閉的空間,無論怎么氣體分子甚至通過降低壓力完全沒有失去了它,優(yōu)良壓力是更接近地到零,這幾乎是不可能為零。當用表壓表示時,它變得非常難以理解。
※1 1 kgf = 9.8 N(牛頓)
* 2壓力容器(鍋爐,氣瓶)等
真空泵
到從密閉容器排出氣體,如壓縮機,被排放到大氣中,通過從進氣口(體積排氣型)的旋轉(zhuǎn)或往復(fù)運動,以進入的氣體被壓縮。然而,這是在低真空相當大(粘性流區(qū)域)的范圍內(nèi)的氣體密度的有效的范圍內(nèi),其中,在高真空中的氣體密度小氣體分子不彼此(分子流區(qū)域)單獨地相沖突,所以氣體分子有必要使用利用其他機構(gòu)進行疏散的真空泵。(參見表2)它是油擴散泵或渦輪分子泵。在油擴散泵來加熱油創(chuàng)建一個油蒸汽,從噴嘴通過吹送以高速噴射流中夾帶的氣體分子壓縮到高真空區(qū)域。渦輪分子泵高速(3000-10000旋轉(zhuǎn))到葉輪壓縮耗盡排斥氣體分子到高真空區(qū)域。高真空泵,在在低真空區(qū)域中的進氣口的高真空區(qū)域中的排氣口,和輔助泵連接所述低真空泵如低到比大氣壓排氣口(油旋轉(zhuǎn)泵,諸如干式泵) ,*后排到大氣層。 株式會社SATO佐藤真空泵
(參見真空排氣單元的部分)
在這里,大學(xué),油旋轉(zhuǎn)真空泵,這是*容易在私人實驗室可用的,等等,下面將要描述。
油旋轉(zhuǎn)真空泵
油旋轉(zhuǎn)真空泵被也被稱為旋轉(zhuǎn)泵,中度真空(10大氣壓5?10 -1是一個泵,其可以更容易真空度達帕)的程度。很容易地使用簡單的結(jié)構(gòu),因為在獲得可以從大氣壓力泵操作大抽速度*排氣效率是一個很好的形式中,長期以來被用于,已經(jīng)流行。雖然高速旋轉(zhuǎn)型模型*近馬達直接更緊湊,在吮吸藥蒸氣如化學(xué)實驗關(guān)系,朝低速旋轉(zhuǎn)型帶的情況下懸掛因為失敗小,它被審查。
油旋轉(zhuǎn)真空泵具有結(jié)構(gòu)三種形式,轉(zhuǎn)子葉片(蓋德型),旋轉(zhuǎn)活塞(Kinney的類型),被劃分成凸輪式(閉孔類型)。如圖所示,旋轉(zhuǎn)葉片式變?yōu)閮蓚€滑動翼的轉(zhuǎn)子,Suridotsubasa被彈簧壓靠在這種情況。滾動活塞上設(shè)有上滑動的偏心轉(zhuǎn)子的外周的圓筒,所述滑動板與吸入閥被安裝其上。凸輪型包括偏心轉(zhuǎn)子和滑動板,滑動板,根據(jù)所述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)向上和向下移動。根據(jù)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)兩個進氣,壓縮每轉(zhuǎn)進行排氣,轉(zhuǎn)子葉片的周期的兩倍,另外執(zhí)行單個排氣。 株式會社SATO佐藤真空泵
而泵的能力由*終壓力和排氣速度來確定,*終壓力的單元[PA],泵送速度顯示在[L /分鐘]。真空泵是用于吸入氣體的泵,必須要小心,以便不混淆與抽氣速度的吸入量和泵為液體抽吸(或含水量)。例如,所述容器如100L水填充,容器在5分鐘時排空時水以20L /分鐘的泵的水。但是,通過的抽氣速度20L / min的真空泵抽空真空容器100L時,1/10大氣壓= 10 4解壓縮到Pa大約需要11.5分鐘。與液體不同,氣體是可壓縮的,因此容器內(nèi)的氣體每次耗盡時都會變稀。由于泵的該泵送速度用于抽吸相同,只是不能排風(fēng)量當換算為大氣壓“容器壓力/大氣壓”。在大氣壓下20L /分鐘即真空泵,容器壓力僅由不能夠在大氣壓力下在下拉至1/10個大氣壓換算用盡2L /分鐘。(忽略具有容積效率)。因此,氣體不能夠在容器中水成為空的,只有無限壓力逐漸降低(密度降低),*終到達泵的壓力將達成。這與液體泵有很大不同。
對于油旋轉(zhuǎn)真空泵,需要稱為真空泵油或旋轉(zhuǎn)泵油的潤滑油。此蓋殼和在泵轉(zhuǎn)子,在油膜其它滑動部的間隙,保持與潤滑的氣密性,氣體從高壓部分的低壓部的逆流防止。油旋轉(zhuǎn)真空泵,因為這樣做不斷壓縮操作中,可冷凝與某些氣體如吸入氣體中的水蒸汽包含,可以保持在泵油在壓縮過程中液化混合。這會導(dǎo)致部件腐蝕和油潤滑等因素,這是導(dǎo)致故障的主要原因。另外,由于與油混合的液體在減壓時再次蒸發(fā),因此極限壓力也變得極差。 株式會社SATO佐藤真空泵
直下式泵1400?1800轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)速度,由于皮帶掛使用帶懸掛的等效電動機轉(zhuǎn)矩時泵450?700轉(zhuǎn),是2-4倍的直接耦合。因此,帶式泵不太可能由于潤滑不佳而遭受諸如生銹和其他異物混合和旋轉(zhuǎn)失效的麻煩。而且,由于其低轉(zhuǎn)速,它產(chǎn)生的熱量更少并且具有高耐久性。因此,在非正常使用條件下使用,即使,往往選擇泵套裝(工作壓力和吸氣)和環(huán)境,避免麻煩,如果這樣進行更換豆真空泵油。但是,在許多情況下,它將**作和釋放,這將導(dǎo)致下次使用時無法操作的情況。株式會社SATO佐藤真空泵
表1壓力顯示
壓力表 | 優(yōu)良的壓力 |
氣體分子數(shù) [/ L] |
|||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Pa.G | Kgf /cm2.G | mmHg.G | atm ※1 | 霸 | Kgf /cm2 | mmHg * 2 | |
1.013 X 10 5 | 1.033 | 760 | 2.0 | 2.026×10 5 | 2.066 | 1520 | 5.357×10 22 |
0.0 | 0.0 | 0.0 | 1.0 | 1.013 X 10 5 | 1.033 | 760 | 2.679 X 10 22 |
-1.012×10 5 | -1.032 | -759 | 1.316 X 10 -3 | 133.29 | 1.359×10 -3 | 1.0 | 3.524×10 19 |
-1.013×10 5 | -1.034 | -759.99 | 1.316×10 -5 | 1.333 | 1.359×10 -5 | 0.01 | 3.524×10 17 |
※1:1 atm = 1 atm * 2:1 mm Hg = 1 Torr
表2真空泵的類型和工作壓力范圍
低真空 | 中等真空 | 高真空 | 超高真空 | |
---|---|---|---|---|
壓力 |
在大氣壓(100kPa) 至X 0.1kPa下 |
X1000Pa 至X0.1Pa |
X0.1 Pa 至X 10 -5 Pa |
X 10 -5 Pa~ |
泵類型 |
·油旋轉(zhuǎn)泵
·干泵 ·隔膜泵 ·水封泵※1 |
·機械增壓泵
·渦輪分子泵 |
·油擴散泵
·渦輪分子泵 ·低溫泵 |
·渦輪分子泵
·低溫泵 ·離子泵 |
※1水封泵的工作壓力范圍:大氣壓(100 kPa)~2.3 kPa
圖:油旋轉(zhuǎn)真空泵的結(jié)構(gòu)和進氣/排氣過程
