真空設(shè)備的應(yīng)用實(shí)例

真空烘烤設(shè)備真空設(shè)備的應(yīng)用實(shí)例

1.簡介

在用于電子設(shè)備，半導(dǎo)體制造設(shè)備等的精密設(shè)備部件中，存在氣化后粘附在表面上的物質(zhì)氣化并具有各種影響的情況。后零件加工此純水清洗，通過干燥處理潤濕表面上的液體層，而那些殘留痕跡，因?yàn)榧词巩?dāng)蒸發(fā)認(rèn)為不利地影響表面上的粘附分子被氣化。一種方法是通過氣化除去附著的物質(zhì)，以便在洗滌后提高部件表面的清潔度。通過提高處理溫度來激活粘附物質(zhì)，而不是干燥時(shí)，降低環(huán)境壓力以便于從表面脫離。真空烘焙設(shè)備實(shí)現(xiàn)了這一系列操作。因此，表面清潔度越高，處理溫度越高，壓力越低。該方法對(duì)于清洗熱處理后不能通過單獨(dú)清洗等完全加工的重油也是有效的。 
通常水性金屬加工部位，用有機(jī)溶劑洗滌，而是用于干燥過程的表面清潔和重油*近已應(yīng)用在**的基于樹脂的產(chǎn)品的后。 
我們公司迄今已生產(chǎn)并交付了許多真空烘烤設(shè)備，并介紹了其型號(hào)和功能。

2.型號(hào)和設(shè)備配置真空設(shè)備的應(yīng)用實(shí)例

    如表1所示，我們提供基于矩形容器的真空烘烤設(shè)備，適用于寬溫度和壓力范圍。對(duì)于外部尺寸，可以使用拖車運(yùn)輸?shù)某叽缡?大尺寸。當(dāng)根據(jù)壓力范圍（*終真空度）分類時(shí)，模型在中真空區(qū)域變?yōu)镈Y型，在高真空區(qū)域變?yōu)镈H型。當(dāng)按溫度分類時(shí)，其變?yōu)镈Y，DH型，加熱溫度為700℃或更低，VHF型為800℃至2200℃。VHF型加熱器結(jié)構(gòu)變得碳或金屬（鉬，鎢）加熱器，DY，腦池內(nèi)大小是從DH型護(hù)套式加熱器，設(shè)置溫度等不同，它是一種用戶規(guī)范的基礎(chǔ)上制造的，包括排氣系統(tǒng)這將是。 
（1）的溫度和壓力設(shè)定 
為所述處理部件表面要求的清潔度（氣體產(chǎn)生量）和烘烤希望從材料系統(tǒng)中的加熱溫度，*終壓力（真空度）被確定。加熱溫度越高，粘附物質(zhì)從表面上的分離越強(qiáng)，處理時(shí)間越短。如果加工溫度受到構(gòu)件的耐熱溫度的限制，則加工時(shí)間隨著*終壓力的降低而變短。盡管設(shè)計(jì)上限溫度是通常使用的加熱器結(jié)構(gòu)的700℃，但考慮到成本，通常為500℃或更低。即使它可以在500℃或更高的溫度下制造，加熱器結(jié)構(gòu)也會(huì)改變，導(dǎo)致高成本。加熱器容量由加熱速率決定，直至設(shè)計(jì)溫度。如果升高的PID控制中，升溫周期至室溫- 500℃為約2.0?2.5小時(shí)，位置，正常溫度- 300℃，但1.5至約2.0小時(shí)。 
（2）真空排氣系統(tǒng)真空設(shè)備的應(yīng)用實(shí)例
，其包括所產(chǎn)生的氣體的設(shè)定溫度的容許量300?500℃。如果從（殘留氣體量）沉積，以決定*終的壓力（真空）。根據(jù)油箱中的到達(dá)壓力，排氣系統(tǒng)確定是僅使用油旋轉(zhuǎn)泵還是確定與渦輪分子泵的組合，如表1所示。 
如果你想避免油蒸汽的污染，清潔度粗加工，干式真空泵洗澡保持到輔助排氣泵，排氣系統(tǒng)結(jié)合了渦輪分子泵的高真空抽氣。另外，如果罐中的清潔度條件嚴(yán)重，則使用低溫泵進(jìn)行高真空抽空。就成本而言，僅通過油旋轉(zhuǎn)泵可以實(shí)現(xiàn)罐內(nèi)壓力的范圍是*便宜的。 
（3）冷卻方法真空設(shè)備的應(yīng)用實(shí)例
保持為在罐的預(yù)定時(shí)間之后升至預(yù)先設(shè)定的溫度，在循環(huán)時(shí)間或處理材料質(zhì)量冷卻到提取溫度，N 2氣體置換，N2氣體流量，N 2氣體而言真空冷卻將選擇強(qiáng)制循環(huán)冷卻。較短的冷卻時(shí)間是強(qiáng)制循環(huán)冷卻，但價(jià)格昂貴。真空冷卻是一種廉價(jià)的方法，但冷卻時(shí)間更長。N 2氣體置換，N2氣體流量恒定，N2氣體導(dǎo)入時(shí)序冷卻（溫度）時(shí)會(huì)被要求決定如在任何定時(shí)在可能的，但處理材料質(zhì)量方面的用戶規(guī)范，如果設(shè)定的溫度后保持序列特異性。

3.總結(jié)真空設(shè)備的應(yīng)用實(shí)例

   如上所述，如何提高表面清潔度是如何氣化和去除表面粘附物質(zhì)，一種方法是真空烘烤。 
我們在溫度，雖然模型的對(duì)應(yīng)于壓力水平，近期趨勢的產(chǎn)品提供*便捷的定制產(chǎn)品根據(jù)用戶的指定，而不是生產(chǎn)列入目錄的規(guī)格，以適應(yīng)預(yù)期用途在大多數(shù)情況下都有。烘焙規(guī)格（溫度，壓力），但將被認(rèn)為是非常困難的決定，測試設(shè)備在我們的（溫度?500℃，壓力×10-4Pa順序）進(jìn)行了抽樣檢測后，因?yàn)樗情L久的建議由...指定。

表1型號(hào)及主要規(guī)格（真空烘烤）