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用于研發(fā)的輥式涂布機優(yōu)選佐藤

日期：2025-04-20 16:38

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摘要：用于研發(fā)的輥式涂布機優(yōu)選佐藤

這是一款緊湊型高性能輥涂機，適用于研發(fā)，小批量生產(chǎn)。可提供等離子處理，濺射和氣相沉積單元。

主要規(guī)格

抵達壓力	×10 ^-5 Pa用于研發(fā)的輥式涂布機優(yōu)選佐藤
真空表	BA表，電容壓力計
工作規(guī)模	W 100 mm×L 200 m×t 50至100 um
進給速度	0.2至4米/分鐘（CW / CCW可能）
真空罐	SUS304 W 500 x H 850 x D 450 mm
卷錐	φ250水冷式用于研發(fā)的輥式涂布機優(yōu)選佐藤
軸封	使用磁力密封用于研發(fā)的輥式涂布機優(yōu)選佐藤
成膜前的等離子處理	13.56 MHz RF電極×1公式
蒸發(fā)源	①高達70×200直流磁控管型× 2②電阻蒸發(fā)源
主泵	TMP 1100 L / s
濕氣排出	CRYO超級陷阱
工藝氣體	Ar，O ₂，N ₂，質(zhì)量流量控制器使用
建筑面積	4平方米
效用	·AC 200V3φ100A·冷卻水

用于研發(fā)的輥式涂布機優(yōu)選佐藤

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