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用于研發(fā)“成套工具”的成膜裝置

日期：2025-04-20 15:53

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摘要：用于研發(fā)“成套工具”的成膜裝置

用于研發(fā)“成套工具”的成膜裝置

用于研發(fā)應(yīng)用的真空成膜設(shè)備。它*適合那些以低成本尋找濺射，氣相沉積設(shè)備，等離子處理設(shè)備（表面改性，有機(jī)物去除等）的人。它是一種成膜設(shè)備“套件”，可以根據(jù)研發(fā)需要購買。用于研發(fā)“成套工具”的成膜裝置

應(yīng)用實(shí)例

超親水性	氧化鈦光催化膜
抗氧化劑	金沉積在半導(dǎo)體的接觸部分上
MEMS	通過成膜和蝕刻形成的微結(jié)構(gòu)
微磁記錄	形成具有高磁導(dǎo)率磁頭磁膜的超薄磁軛
減少稀有金屬的使用量	催化劑鉑僅沉積在表面上
電磁波屏蔽	通過薄膜減輕重量和小型化
熱敏頭的加熱元件	將精細(xì)加熱部件制成薄膜
透明導(dǎo)電膜	平板顯示器等
燈具反射器	LED外殼
各種濾光片	用于CCD的紅外線切割和用于投影儀光源的光譜濾光片
防反射膜	眼鏡和相機(jī)鏡頭涂層
首飾	在化妝品容器，家用電器等塑料上真空鍍金屬
防靜電擊穿，電磁波傳播	手機(jī)和家用電器的櫥柜裝飾（不連續(xù)薄膜;金屬色但電流不流動(dòng)）
可見光反射和紅外光傳輸	鹵素?zé)衾溏R
氫傳感器	通過氫吸收引起的透光率變化檢測(cè)

成膜裝置“套件”概要用于研發(fā)“成套工具”的成膜裝置

室單元：室，閘閥，濺射源（或蒸發(fā)源或等離子源），觀察口，樣品臺(tái)（選項(xiàng)：加熱或冷卻，射頻應(yīng)用）
排氣裝置：油旋轉(zhuǎn)泵，渦輪分子泵（或油擴(kuò)散泵+閥門），安裝座等
真空管道:(帶壓力表端口，排氣閥，進(jìn)氣口）
真空計(jì)1：皮拉尼真空計(jì)
真空規(guī)2：熱陰極電離真空規(guī)（BA規(guī)）
真空規(guī)3：隔膜規(guī)用于研發(fā)“成套工具”的成膜裝置
電源單元：用于濺射的直流電源（或用于濺射的RF電源+匹配盒或電阻加熱蒸發(fā)電源）
氣體引入裝置：質(zhì)量流量控制器（或針閥組）
樣品運(yùn)輸機(jī)器人（手動(dòng)型）
負(fù)載鎖定和傳輸室:(用于4個(gè)室或6個(gè)室）蓋子，粗抽閥，排氣閥，安裝

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